电子行业洁净室的特点

(1)气流分布要求很均匀洁净空调室为维持室内高洁净度，必须去除室内 所产生的微尘粒子，.因此对气流组织有严格的要求。对于ISO3-ISO6级（1~ 1000级）的洁净室目前采用上顶棚送风，下地板回风的垂直单向流气流组织。对于ISO7 ~ ISO8级（10000-100000级）的洁净室常采用上顶棚送风，下侧回风口的非单向流气流组织。

(2)恒温恒湿控制精度高由于电子产品的制造工艺对温、湿度变化极为敏感，所以在洁净室工艺区域的空气参数须严格控制在极小的范围内。洁净空调系统目前普遍采用了控制灵活、性能可靠的DDC自控系统，当室内空气参数达不到设计要求时，可通过DDC控制系统来自动调节各个阀门开大或关小。这样就不至于使房间温、湿度波动太大，影响产品质量和成品率。

(3)新风量大，换气次数高在电子产品制造过程中需使用有毒的化学品，会产生有毒的废气，必须排出室外。为保持洁净室内正压和满足卫生条件，必须补充大量新风。为了保持高洁净度，洁净室应有较高的换气次数，同时室内的空气流速不能太大，一般在0.4m/S以下。

(4)洁净室空调冷负荷大但湿负荷很小，热湿比值接近无限大电子行业的洁净室一般都置于建筑物的中部，虽然通过围护结构的得热量较小，但洁净室内工艺设备的发热量相当大，即全年需要排除室内余热量。洁净室内一般无散湿源，工作人员也是密封在防尘服中。为了减少静电现象，空气不能太干燥，这就要求空调系统处理室内回风时不能是减湿过程。